Modulare Systeme & Standard-Serie
Vorkonfigurierte, modulare und frei konfigurierbare Systeme für schnellere Umsetzung, bewährte Leistung und projektspezifische Auslegung.
Thermalsystem-Pakete
- Thermalplatten
- Kryogene Shrouds
- LN₂- und GN₂-Systeme
- Temperaturregelung
Vakuumsystem-Pakete
- Turbomolekular- und Vorpumpen
- Ventile und Vakuumkomponenten
- Druckmesstechnik
- Vakuumsteuerung und Schutzlogik

Standard-Kammerkonzepte
- T-Serie (kubisch)
- C-Serie (zylindrisch)
- Mehrere Volumenklassen
- Modulare Optionen und Schnittstellen










