Beheizte Kammerwände (Bake-out)
Eine integrierte Wandheizung erwärmt die Innenflächen und beschleunigt das Ausgasen von adsorbiertem Wasser und Kontaminationen. Das verkürzt die Abpumpzeit und verbessert die erreichbare Vakuumqualität.
Zweck
Nutzen
Beheizte Kammerwände (Bake-out)
Beheizung der Innenflächen zur Beschleunigung des Ausgasens
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